上海中科神光光电产业有限公司
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金属靶材

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技术参数

    

材料 纯度 最大尺寸 制备方法
Al 3~5N 1000×300mm 熔炼
Ag 4N 1000×300mm 熔炼
Au 4N 800×300mm 熔炼
Bi 4N 400×200mm 熔炼
C石墨) 3N 600×300mm 特殊烧结
Co 3N 800×300mm 熔炼
Cr 2N5~3N5 500×200mm 特殊烧结
Cu 3N7 1000×300mm 熔炼
Fe 2N5,3N,4N 1000×300mm 熔炼
Ge 4N Dia 4″ 特殊烧结
Hf 3N 500×200mm 熔炼
In 4N 800×300mm 熔炼
Mg 3N5 500×300mm 熔炼
Mo 3N5 500×300mm 特殊烧结
Ni 2N5,3N5,4N5 1000×300mm 熔炼
Pb 3N,4N 800×300mm 熔炼
Pd 3N 500×300mm 熔炼
Si 5N Dia 4″ 特殊烧结
Sn 3N5,5N 1000×300mm 熔炼
Ta 3N5 1000×300mm 熔炼
Ti 2N5,3N 1000×300mm 熔炼
V 2N5,3N 1000×300mm 熔炼
W 3N5 1000×300mm 熔炼
Zn 3N,4N 800×300mm 熔炼
Zr 3N 800×300mm 熔炼
 

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