上海中科神光光电产业有限公司
光电材料事业部

铝酸镧(LaAlO3)

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技术参数

  铝酸镧(LaAlO3)单晶是当前最重要的工业化、大尺寸高温超导薄膜基片单晶材料。它用提拉法生长,可以得到直径2英吋及更大的单晶和基片。它与YBaCuO等高温超导材料和晶格匹配好,介电常数较低,微波损耗小,因而适于制作高温超导微波电子器件(如远程通讯中的高温超导微波滤波器等)。有巨大的现实及潜在的应用前景。

主要性能参数

晶系

六方(常温)

立方(>435℃)

晶格常数

六方a=5.357A  c=13.22 A

立方a=3.821 A

熔点(℃)

2080

密度

6.52(g/cm3)

硬度

6-6.5(mohs)

热膨胀系数

9.4x10E-6/℃

介电常数

ε=21

损耗正切(10ghz)

~3×10-4@300k,~0.6×10-4@77k

颜色及外观

依退火状况而不同,由棕黄色到褐色
抛光基片有自然孪晶畴

化学稳定性

室温下不溶于矿物酸,温度大于150℃时可溶于h3po4

特点

适于微波电子器件

生长方法

提拉法

尺寸

10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,

Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф3″

厚度

0.5mm,1.0mm

抛光

单面或双面

晶向

<100>  <110>  <111>

晶面定向精度:

±0.5°

边缘定向精度:

2°(特殊要求可达1°以内)

斜切晶片

可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片

Ra:

≤5Å(5µm×5µm)

   

包装

100级洁净袋,1000级超净室

 

配件详情: