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蓝宝石(Sapphire)
蓝宝石(Sapphire,又称白宝石,分子式为Al2O3)单晶是一种优秀的多功能材料。它耐高温,导热好,硬度高,透红外,化学稳定性好,可以应用在LED制造、LD激光器、激光窗口和红外光学元件、微电子集成电路和高端光学等。广泛用于工业、国防和科研的多个领域。
Al₂O₃在磁性薄膜外延生长中的关键作用
优异的晶格匹配与热稳定性:
Al₂O₃(尤其是蓝宝石α-Al₂O₃)具有较高的熔点、良好的热稳定性和化学惰性,适合作为高温外延生长的衬底。虽然其与多数磁性氧化物(如铁氧体、尖晶石结构薄膜)存在晶格失配,但通过斜切衬底或取向控制可改善外延质量。
电绝缘特性:
Al₂O₃是优良的电绝缘体(带隙约8.8 eV),可有效抑制寄生电流,在磁电耦合器件、自旋电子学器件中减少信号干扰。
表面平整度与缺陷密度低:
高质量单晶Al₂O₃衬底(如R面或C面蓝宝石)可提供原子级平整的表面,有利于磁性薄膜实现外延取向生长,减少界面缺陷。
与多种磁性氧化物兼容:
在Al₂O₃上外延生长VO₂、Ga₂O₃等氧化物,磁性氧化物如CoFe₂O₄、NiFe₂O₄、Mn₃O₄等也常在Al₂O₃衬底上通过脉冲激光沉积(PLD) 或 分子束外延(MBE) 实现外延生长。
作为缓冲层或势垒层:
在多层磁性异质结构中,Al₂O₃可作为非磁性间隔层或隧穿势垒,用于构建磁性隧道结(MTJ),尽管此时通常采用非晶Al₂O₃而非外延单晶。
主要性能参数 | |||
晶系 | 六方晶系 | ||
晶胞常数 | a=4.76Å c=12.99Å | ||
密度 | 3.98(g/cm3) | ||
熔点 | 2040℃ | ||
生长方法 | 提拉法,泡生法 | ||
莫氏硬度 | 9 | ||
维氏硬度 | ∥C,1940 ⊥C,2200 | ||
折射率 | 300K时,∥C,1.762 @630nm ⊥C,1.770 @630nm | ||
热膨胀系数 | 5.8x10-6/K | ||
导热系数 | 32 W/Mk (@258°C) | ||
热导率(卡/度 厘米 秒) | ⊥c | //c | |
23℃ | 0.055 | 26℃ 0.060 | |
77℃ | 0.040 | 70℃ 0.041 | |
损耗角正切 293K时 | 1×10-4(1MHz) | ||
介电常数 | ∥C,11.5 ⊥C,9.3 | ||
透过率 | ≥85%@ 400~4000nm | ||
抗拉强度 | 60,000 psi | ||
抗压强度 | 300,000 psi | ||
模量指数 | 杨氏模量(E): 335GPa 剪切模量(G): 148.1GPa 体积模量(K): 240GPa
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松泊比 | 0.25 | ||
晶向 | A-plane | <11-20> | |
R-plane | <1-102> | ||
M-plane | <10-10> | ||
C-plane | <0001> | ||
晶向公差 | ±0.5°或±0.3° | ||
常规尺寸及公差 | 5x5,10×10,20×20,Ø2”,Ø3”,Ø4”等 | ||
常规厚度及公差 | 0.5mm,1.0mm | ||
抛光 | 单面或双面 | ||
表面粗糙度 | Ra<5å(5×5μm) | ||
包装 | 100级洁净袋,1000级超净室 | ||