靶材类
陶瓷基片
玻璃类
加工服务
晶体设备
高温设备
铝酸镧（LaAlO3）
LaAlO₃具有钙钛矿结构（伪立方晶格，晶格常数约 3.792 Å），常温下为六方晶系，温度高于435℃时转变为立方晶系，与多种钙钛矿型磁性氧化物（如SrCoOₓ / LaAlO₃ 异质结、NdNiO₃ / LaAlO₃ 异质结等）晶格失配较小（<100>或者<111>通常在 -3% 至 +1% 范围内），因此在在氧化物磁性薄膜外延生长中能够实现高质量、外延取向可控的磁性氧化物薄膜生长。
主要性能参数 | ||
晶系 | 六方（常温） | 立方（>435℃） |
晶格常数 | 六方a=5.357A c=13.22 A | 立方a=3.821 A |
熔点（℃） | 2080 | |
密度 | 6.52（g/cm3） | |
硬度 | 6-6.5（mohs） | |
热膨胀系数 | 9.4x10-6/℃ | |
介电常数 | ε=21 | |
损耗正切（10ghz) | ～3×10-4@300k,～0.6×10-4@77k | |
颜色及外观 | 依退火状况而不同，由棕黄色到褐色，抛光基片可见自然孪晶畴 | |
化学稳定性 | 室温下不溶于酸，温度大于150℃时可溶于H3PO4 | |
特点 | 适于微波电子器件 | |
生长方法 | 提拉法 | |
尺寸 厚度 | 5x5， 10x10，15x15，20x20，Ø25.4，Ø50.8mm或定制 | |
0.5mm，1.0mm或定制 | ||
抛光 | 单面或双面 | |
晶向 | <100>， <010>，<111> | |
晶面定向精度: | ±0.5°或者0.3° | |
边缘定向精度: | 1°（特殊要求可达1°以内） | |
Ra: | ≤5Å（5µm×5µm） | |
包装 | 100级洁净袋，1000级超净室 | |
