Si 用途:用作半导体材料,大功率晶体管,整流器,太阳能电池等。
主要性能参数 | |||
晶体结构 | 面心立方 | ||
熔点(℃) | 1420 | ||
密度 | 2.4(g/cm3) | ||
掺杂物质 | 不掺杂 | 掺B | 掺P |
类 型 | I | P | N |
电 阻 率 | >1000Ωcm | 10E-3~100Ωcm | 10E-3~100Ωcm |
E P D | ≤100∕cm2 | ≤100∕cm2 | ≤100∕cm2 |
氧含量(∕cm3) | ≤1~1.8×10E18 | ≤1~1.8×10E18 | ≤1~1.8×10E18 |
碳含量(∕cm3) | ≤5×10E16 | ≤5×10E16 | ≤5×10E16 |
尺寸 | 10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm, Dia50.8mm,Dia76.2mm,Dia100mm 可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的基片 | ||
厚度 | 0.5mm、1.0mm | ||
尺寸公差 | <±0.1mm | ||
厚度公差 | <±0.015mm特殊要求可达到<±0.005mm) | ||
抛光 | 单面或双面 | ||
晶面定向精度 | ±0.5° | ||
边缘定向精度 | 2°(特殊要求可达到1°以内) | ||
取向 | <100>、<110>、<111>等 | ||
包装 | 100级洁净袋,1000级超净室 |