微纳光电子功能材料实验室
光电材料事业部
氧化锌(ZnO) 是很好的GaN薄膜衬底材料，具有60mev的激子束缚能以及室温下3.73ev带宽使之成为紫外以及可见光发光材料．同时由于具有可见区透明，机电耦合系数大，能使气体分子在其表面的吸附－解析等性质,有望在高峰值能量的能量限制器、大直径高质量的GaN的衬底、未来的5GHz之外的无线通信、高电场设备、高温高能电子器件、高电场设备、高温高能电子器件等方面得到广泛应用。
| 主要性能参数 | |
| 晶体结构 | 六方 |
| 晶格常数 | a=3.252Å c=5.313 Å |
| 密度 | 5.7（g/cm3） |
| 生长方法 | 水热法 |
| 硬度 | 4（mohs） |
| 熔点 | 1975℃ |
| 热膨胀系数 | 6.5 x 10E-6 /℃//a 3.7 x 10E-6 /℃//c |
| 热 容 | 0.125 cal /g.m |
| 热电常数 | 1200 mv/k @ 300 ℃ |
| 热 导 | 0.006 cal/cm/k |
| 透过范围 | 0.4-5um |
| 晶向 | <0001>、<11-20>、<10-10>±0.5º |
| 尺寸（mm） | 25×25×0.5mm、10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm 可按照客户需求，定制特殊方向和尺寸的衬底 |
| 表面粗糙度 | Surface roughness(Ra):<=5A |
| 抛光 | 单面或双面 |
| 包装 | 100级洁净袋，1000级超净室 |
