镓酸钕(NdGaO3)
NdGaO3是近十年中发展起来的新型基片,主要用作高温超导体(如YBCO)及磁性材料的外延薄膜生长用基片。由于NdGaO3与YBCO的晶格失配很小(~0.27%),且无结构相变,在NdGaO3基片上可外延生长质量良好的薄膜。
| 主要性能参数 | |
| 晶体结构 | 正交 |
| 晶胞参数Å | a=5.43、b=5.50、c=7.71 |
| 熔点 | 1600 ℃ |
| 密度 | 7.57g/cm3 |
| 介电常数 | 25 |
| 生长方法 | 提拉法 |
| 尺寸 | 10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20, |
| 厚度 | 0.5mm,1.0mm |
| 抛光 | 单面或双面 |
| 晶向 | <100> <110> <001> |
| 晶面定向精度: | ±0.5° |
| 边缘定向精度: | 2°(特殊要求可达1°以内) |
| 斜切晶片 | 可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片 |
| Ra: | ≤5Å(5µm×5µm) |
| 包装 | 100级洁净袋,1000级超净室 |