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铝酸锂晶体(LiAlO2)

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技术参数

  酸锂单晶对GaN晶格匹配非常好,因而成为潜在的III-V族氮化物薄膜衬底材料。

主要性能参数

晶体结构

四方

晶格常数

a=5.17 A  c=6.26 A

熔点(℃)

1900

密度

2.62(g/cm3)

硬度

7.5(mohs)

与GaN失配率<001>

1.4%

尺寸

10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,

Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″

厚度

0.5mm,1.0mm

抛光

单面或双面

晶向

<100>或<001>

晶面定向精度:

±0.5°

边缘定向精度:

2°(特殊要求可达1°以内)

Ra:

≤5Å(5µm×5µm)

   

包装

100级洁净袋,1000级超净室

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