钛酸锶(SrTiO3)是当前应用最广的优秀高温超导单晶基片之一。它与YBa2Cu3O7等高温超导材料的晶格匹配好,无孪晶结构,物理、机械性能优良。使用多种制膜技术(如磁溅射,脉冲激光沉积,激光分子束外延等)制作的多种高温超导薄膜(Y-系,Bi-系,La-系等)均可得到 TCO≥90°K, JCO≥106A/cm2等指标。SrTiO3也是高温超导结技术(使用双晶基片或台阶状基片)及基片台阶化(按特定角度斜切并热处理)的首选单晶材料。
主要性能参数 | |
晶系 | 立方晶系 |
生长方法 | 火焰法,浮区法 |
晶格常数 | a=3.905Å |
熔点(℃) | 2060 |
密度 | 5.122(g/cm3) |
硬度 | 6-6.5(mohs) |
热膨胀系数(/℃) | 9.4×10-6 |
介电常数 | ε=5.20 |
化学稳定性 | 在水中不溶解 |
热膨胀系数 | 10.4×10-6/k |
正切损耗 | ~5×10-4(300k) ~3×10-4(77k) |
颜色及外观 | 透明(根据退火状态有时有轻微的棕色)无鸾晶 |
尺寸 | 10×3m、10×5m、10×10mm、20×20mm,Dia25.4mm,Dia30mm,Dia35mm 可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的基片 |
厚度 | 0.5mm、1.0mm |
尺寸公差 | <±0.1mm |
厚度公差 | <±0.015mm特殊要求可达到<±0.005mm) |
抛光 | 单面或双面 |
晶面定向精度 | ±0.5° |
边缘定向精度 | 2°(特殊要求可达到1°以内) |
取向 | <100>、<110>、<111>等 |
包装 | 100级洁净袋,1000级超净室 |